
採用行星齒輪機構可以實現以較少的速度級實現高減速。
齒隙精度為 3 分/15 分。
【日本伺服馬達製造商示例】
| 製造商 | 相容類型 |
|---|---|
| Sanyo Denki | R series, etc. |
| OMRON | 1S series, R88M-1,etc. |
| KEYENCE | SV2 series,etc. |
| Panasonic | MINAS A7 series,etc. |
| FANUC | αi-B,etc. |
| Mitsubishi Electric | HK series,etc. |
| YASKAWA Electric | Σ-X series,etc. |
【日本以外的伺服馬達製造商示例】
| 製造商 | 相容類型 |
|---|---|
| ABB | BSM, etc. |
| Allen Bradley | VPL series,etc. |
| Delta Electronics | ECMA series,etc. |
| INOVANCE | MS1 series,etc. |
| Kinco | SMC series,etc. |
| LS ELECTRIC | APM series,etc. |
| Bosch Rexroth | MSM series,etc. |
| 馬達功率 | 減速比 | 齒隙精度 |
|---|---|---|
| 100至3000W | 1/3 到 1/100 | 3分/15分 |